由于声测管厂家微型机械、集成电路的发展，超精密加工技术向微型化发展，如微型传感器，微型驱动元件和动力装置、微型航空航天器件等。
        声测管厂家微细加工技术由于其加工对象尺度小到微米级所加工的尺寸公差及形位公差小至数十纳米；表面粗糙度则低达纳米级，所以它往往兼具微小和超精密加工的特征，和纳米加工正逐渐融合。微细加工技术的发展促进了微型机械的系统化，从而催生了声测管厂家微机电系统（MEMS）技术，微机电系统技术是在微尺物质结构形态上挖掘与寻求机械制造技术突破，是极限制造的一个主要方向是一个直径为1.3mm、高度为0.5mm的微型蜗轮。美国 Cornell大学的 Ricky K,Song等人把单个的生物分子电机和纳米尺度的无机系统集成起来，构成了用分子电机驱动的混合纳米机械器件。